Rotterdams techbedrijf Nearfield haalt 135 miljoen euro op met meettechniek voor chips

Met hulp van twee buitenlandse investeringsfondsen kan het Nederlandse technologiebedrijf Nearfield Instruments zich opmaken voor een groeispurt. Deze Rotterdamse onderneming (170 medewerkers) specialiseert zich in meettechniek voor complexe chips. Donderdag werd bekend dat het Amerikaanse investeringsfonds Walden Catalyst en Temasek, uit Singapore 135 miljoen euro steken in het techbedrijf, samen met een groep andere investeerders. Vorig jaar haalde Nearfield met een investeringsronde al 27 miljoen euro op, van ING en Invest-NL. Die partijen steken nu ook weer geld in Nearfield, net als pensioenfondsen PME en PMT.

Nearfield Instruments werd in 2016 opgericht als een spin-off van onderzoeksinstituut TNO en vond een nieuwe niche in de chiptechnologie, tussen andere grote Nederlandse bedrijven die chipmachines bouwen, zoals ASML, ASM en Besi.

Chips worden gefabriceerd op silicium schijven of wafers, door meerdere lagen op elkaar te stapelen. Dat gaat met atomaire precisie, zeker bij de jongste generatie chips die uit complexe 3D-contructies bestaan. Om er zeker van te zijn dat alle lagen precies op elkaar aansluiten en de transistors goed werken, worden de wafers tijdens het productieproces regelmatig gemeten en geïnspecteerd.

Afwijkingen registreren

Nearfield ontwikkelde een techniek die met hulp van atoomkrachtvelden zeer nauwkeurig afwijkingen registreert, zonder het kwetsbare materiaal op de chip te beschadigen. De Zuid-Koreaanse chipgigant Samsung heeft deze zogeheten AFM-methode al toegepast en andere fabrikanten experimenteren ermee. Het is de verwachting dat zij over enkele jaren ook Nearfield-machines zullen kopen.

De kapitaalinjectie heeft Nearfield nodig om de productiecapaciteit – nu enkele tientallen per jaar – verder uit te breiden. De machines kosten enkele miljoenen euro’s per stuk. De inspectiesystemen komen ook van pas als chips of wafers op elkaar gelegd moeten worden. Zulke soort ontwerpen kom je vaak tegen bij AI-chips.

De techniek van Nearfield is een aanvulling op bestaande meettechnieken, die werken met elektronenbundels of camera’s. Techreus ASML heeft zelf een divisie die metrologische systemen ontwikkelt, net zoals bijvoorbeeld het Amerikaanse KLA. Deze bedrijven toonden ook interesse voor een deelname – of meer – in Nearfield. Maar de Rotterdamse onderneming sloeg aanbiedingen beleefd af. Volgens topman Hamed Sadeghian is het „te vroeg” om in dit stadium een grote speler uit de chipindustrie aan boord te halen. „We hebben ze gevraagd te wachten. Op dit moment zitten we in een acceleratiefase en die moeten we in alle vrijheid kunnen voltooien.”

Fles champagne

Fransman Eric Meurice – hij was tot 2013 topman van ASML – is sinds vorig jaar voorzitter van de raad van commissarissen van Nearfield. Meurice is er zeker van dat de Nearfield-techniek gebruikt gaat worden door ’s werelds grootste chipfabrikanten. „Zodra we deze kapitaalinjectie rond hadden, heb ik een fles champagne opengetrokken. Want de techniek is volwassen, we hoeven alleen nog maar te wachten tot de chipindustrie er klaar voor is om in deze machines te investeren.” Dat kan wel enkele jaren duren, want chipfabrikanten zijn doorgaans terughoudend om nieuwe techniek te omarmen voordat hun oude machines zijn afgeschreven.


Lees ook

Lees ook: Hoe het kabinet met operatie Beethoven vertrek ASML wilde voorkomen

Links is de wijk Veldhoven-Dorp te zien, rechts het complex van ASML.

Volgens Meurice is het geen toeval dat Nearfield in Nederland begon. „Dit land heeft de technische kennis in huis en de juiste innovatieve houding. Je moet een beetje naïef en eigenwijs zijn om te blijven geloven in je product, zelfs als anderen het aanvankelijk een raar idee vinden. Die instelling past in de Nederlandse cultuur.”