Verbied private equity-partijen in de zorg, vroeg de Tweede Kamer tot driemaal toe. Nee, zei de minister van Volksgezondheid. Maak dan een stappenplan om dat soort investeerders op termijn te weren, vroeg de Kamer. Nee, zei de minister opnieuw.
Met die patstelling debatteerde een geagiteerde Tweede Kamer deze woensdag voor de zoveelste keer met minister Fleur Agema (Zorg, PVV) over de rol van deze commerciële investeerders in de zorg. „De Tweede Kamer spreekt keer op keer haar zorg uit, maar de minister legt alle moties naast zich neer”, zei haar geërgerde partijgenoot René Claassen – die ook een verbod wil. Hij had weinig verwachtingen van het debat: „Ik denk niet dat de minister nu ineens zegt: ‘dat gaan we morgen regelen’.” De SP noemde het niet uitvoeren van de moties „geen manier van werken. Dan kan de minister net zo goed weg, dan doen we het zelf wel.” Het CDA klaagde dat „deze minister maar blijft vertragen”.
Als je alle private equity weghaalt, hoe hou je het zorgaanbod dan overeind?
Al langere tijd is er veel weerstand tegen private equity (waarbij een fonds vaak met geleend geld een bedrijf overneemt) in de zorg, maar na de problemen met de commerciële huisartsenpraktijk Co-Med is die discussie alleen maar heftiger geworden. Co-Med begon in 2020 met het opkopen van praktijken, was daarna voortdurend in opspraak, raakte in financiële problemen en ging uiteindelijk in 2024 failliet. Het bedrijf is daarmee uitgegroeid tot het schrikbeeld van private equity in de zorg.
Omvallende zorginstellingen
Maar het kabinet is tegen het verbieden van commerciële investeerders in de zorg. „Een verbod is niet de oplossing”, zei Agema opnieuw tegen de Kamer. „Private equity is niet de duivel.” In het hoofdlijnenakkoord en het regeerakkoord staat daar dan ook geen letter over. In een brief aan de Kamer schreef Agema in maart dat verbieden „juridisch zeer kwetsbaar is met grote financiële risico’s voor de overheid”. Daarnaast vallen er dan zorginstellingen om met als gevolg langere wachtlijsten. Zorgaanbieders zijn vaker afhankelijk van geld van investeerders omdat ze dat van banken, die afgelopen jaren strengere eisen zijn gaan stellen, niet krijgen. Ook zorgen commerciële investeerders volgens Agema voor innovatie en vernieuwing, iets dat alleen al broodnodig is om het groeiende personeelstekort tegen te gaan. Verder is de definitie lastig: wat valt nu precies wel en wat niet onder private equity?
Eerder verscheen een rapport van EY Consulting waarin staat dat er geen „aantoonbare verschillen” zijn in betaalbaarheid, toegankelijkheid en kwaliteit tussen zorgaanbieders die in handen zijn van private equity en andere zorgaanbieders – al benadrukken de onderzoekers dat er weinig data beschikbaar zijn. De omvang van private equity in de zorg is ook onduidelijk.
De redenering van Agema is vergelijkbaar met die van haar voorganger, oud-minister Conny Helder (VVD), die ook niets zag in een verbod. Helder zei een jaar geleden in een debat dat „het indammen van private equity niet goed is voor de zorg”.
Uitwassen
Agema wil wel „excessen aanpakken” door „paal en perk te stellen aan zorgaanbieders die enkel eropuit zijn om er zelf financieel beter van te worden” schrijft ze in haar Kamerbrief. Zo verwijst ze naar de Wet integere bedrijfsvoering zorg- en jeugdhulpaanbieders (Wibz), die begin dit jaar naar de Kamer is gestuurd. Belangrijk punt daarin is het stellen van extra voorwaarden aan het uitkeren van winst door zorginstellingen. Ook wil Agema dat de Nederlandse Zorgautoriteit fusies beter gaat toetsen en moet er meer zicht komen op gemaakte winsten in de zorg. „Zo wordt de zorg minder aantrekkelijk voor graaiers”, zei Agema woensdag tijdens het debat. „Het gaat om partijen met verkeerde intenties.”
Maar de Kamer vindt dat allemaal te weinig. „Een hele magere lijst”, zei Julian Bushoff (GroenLinks-PvdA). Zijn conclusie: „Keer op keer moeten we de minister corrigeren, maar de minister laat zich helaas niet corrigeren.” En dus wil de Kamer het nu maar zelf gaan doen. De ene na de andere partij kwam met voorstellen om private equity aan banden te leggen. Zo kwam de SP onder meer met het idee om bestuurders wettelijk aansprakelijk te stellen voor schade en wil de partij snel een verbod op nieuwe overnames. GroenLinks-PvdA en NSC kwamen vorig jaar al met een initiatiefwetsvoorstel om de Autoriteit Consument en Markt sneller te laten ingrijpen bij kleine overnames, zoals een huisartsen- of tandartsenpraktijk. Verder werken partijen aan amendementen om de nog te behandelen Wet Wibz aan te passen. Claassen: „Die moet steviger en sterker. Dan moet het maar op die manier, al verdient het niet de schoonheidsprijs.”
Een minderheid van de Kamer, vooral VVD en BBB maar ook NSC, vinden de oproepen tot een compleet verbod te ver gaan. Volgens BBB zijn heel veel zorgaanbieders via private equity gefinancierd: „Dat is heel normaal en dat kan vaak niet anders.” NSC-Kamerlid Daniëlle Jansen noemde het onverstandig „zomaar happen uit de zorg te nemen zonder dat je alternatieven hebt.” Ze zei private equity „fors te willen terugdringen”, maar niet helemaal te willen verbieden. „Als je alle private equity weghaalt, hoe hou je het zorgaanbod dan overeind?”
Lees ook
Wetsvoorstel tegen private equity in zorg: ‘Met deze wet willen we de uitwassen tegengaan, het is geen stop op elke overname’
In het stadhuis mag men het horen. Een instemmend gejoel klinkt buiten als een spreker zegt dat het gemeentebestuur van Rotterdam „direct verantwoordelijk” is voor „massamoord en genocide”. Er wordt geroffeld op trommels. Een vrouw zit op de rand van de trap en schrijft op karton: ‘Maersk je moeder’ en ‘geen wapens door onze haven’.
De zeventigjarige Els – haar achternaam mag niet in de krant – heeft een foto meegenomen van het standbeeld van Ossip Zadkine, dat herinnert aan het bombardement van 1940. Ze staat er omdat ze een „morele plicht” voelt. „Rotterdam is óók platgebombardeerd. Ze zouden Zadkine een Palestijnse sjaal om moeten doen.”
Het protest, opgezet door actiegroep Geef Tegengas, draait om een schip van rederij Maersk, dat woensdagochtend aanmeerde in de Rotterdamse haven. Het schip zou afkomstig zijn uit Israël en transporteert volgens gegevens van de Palestijnse beweging Palestinian Youth Movement onderdelen van F35-gevechtsvliegen.
In een brief riep een bont gezelschap actiegroepen burgemeester Carola Schouten dinsdag op om het schip, dat onderweg is naar de Verenigde Staten en hier een tussenstop maakt, te laten vertrekken. De stad faciliteert volgens hen de „militaire logistieke keten” van Israël. Dat maakt Rotterdam in hun ogen „medeplichtig aan deze genocide”.
De gemeenteraad vergadert donderdag over de kwestie. In aanloop naar de raadsvergadering hebben zo’n 150 mensen zich woensdagavond met vlaggen en spandoeken verzameld bij het stadhuis. Naast de actiegroepen hebben ook drie politieke partijen hun handtekening gezet onder de brief naar de burgemeester.
Actiegroep Geef Tegengas wil dat Rotterdam het schip met onderdelen voor Israëlische F35 gevechtsvliegtuigen weert.
Foto Jordy van der Boom
Doorvoerroute
„Als je je haven hiervoor beschikbaar stelt, ben je een beetje medeplichtig”, vindt raadslid Theo Coşkun (SP). „Dit is Rotterdams grondgebied. Dan kun je niet zeggen: het is niet onze rol. We hebben de taak om alles op alles te zetten om wat er in Gaza gebeurt te voorkomen. Zo zou iedere burger in het leven moeten staan.”
Judith Bokhove, fractievoorzitter van GroenLinks, vindt de formulering dat Rotterdam medeplichtig is aan genocide „te stellig”. „Maar we hebben wel onze verantwoordelijkheid. Als je als stad niet acteert, geef je daarmee ook een signaal af. We vinden dat de oorlog moet stoppen. En dus ook dat we die niet moeten faciliteren.”
We moeten onze stem laten horen. In alle lagen van politiek bestuur. Zeker als zo’n schip onze haven binnenkomt
Rotterdammers mogen er weinig van meekrijgen, doorlopend wordt de belangrijke havenstad gebruikt als doorvoerroute voor wapentransporten. Een handel die „logischerwijs voortvloeit uit de rol van Rotterdam als internationale haven”, aldus wapenexport-deskundige Frank Slijper. „Er wordt van alles doorgevoerd, dus ook wapens en militair materieel.”
Het gaat dan ook niet alleen om Israël, zegt Bokhove. De positie van Rotterdam als internationale doorvoerhaven voor wapens baart haar zorgen. „De haven ligt dichtbij Rotterdam. Dat er wapens worden doorgevoerd, brengt veiligheidsrisico’s met zich mee. Op deze manier betrek je Rotterdam ook in een internationaal conflict.”
Bestuurslagen
Met de kwestie bereikt het oorlogsgeweld in de Gazastrook in korte tijd opnieuw de Rotterdamse politiek. Naar aanleiding van een online-petitie sprak de gemeenteraad zich vorige week met een nipte meerderheid uit tegen het Israëlische geweld. De vraag die de raadszaal verdeelt, is of het aan het lokale bestuur is om zich daarmee bezig te houden.
„We snappen allemaal dat het buitenlandbeleid aan de Tweede Kamer is”, zegt PvdA-raadslid Sarah Reitema. „Maar met dit soort schendingen van het internationale recht moeten we onze stem laten horen. In alle lagen van politiek bestuur: als gemeente, deelraad en Brussel. En zeker als er zo’n schip onze haven binnenkomt.”
Leefbaar Rotterdam, de grootste fractie in de raad, denkt daar anders over. „Wij vinden het niet gepast om een internationaal conflict te importeren in de stad”, zegt raadslid Sebastiaan Bonte. „Ik vind dat linkse partijen niet de juiste prioriteiten stellen. We hebben het inmiddels wekelijks over Gaza, maar daar gaan we niet over.”
Hij spreekt van „selectieve verontwaardiging”. „Op deze manier kun je elke supply-chain gaan onderzoeken. De wereld komt in de Rotterdamse haven. Het is wel erg eenzijdig anti-Israël. Gemakshalve wordt even vergeten wie de oorlog is begonnen. Het moet stoppen, dat is duidelijk. Maar wat gaan we er in Rotterdam aan doen?”
Het omstreden containerschip Maersk Izmir in de Rotterdamse haven.
Foto Marco Hoope
Spanje
Overheden kunnen een schip met onwelgevallige inhoud weigeren. Zo ontzegde Spanje, één van de meest Israël-kritische EU-lidstaten, vorig jaar een schip met wapens de toegang tot de haven van Cartagena. Het schip vervoerde 27 ton aan explosief materiaal en had Israël als bestemming.
Dat Rotterdam zomaar dezelfde afweging zal maken, is niet waarschijnlijk. Het stadsbestuur, gedragen door Leefbaar Rotterdam, VVD, D66 en Denk, stelt zich rond het conflict voorzichtiger op dan bijvoorbeeld Amsterdam, waar burgemeester Femke Halsema het kabinet vorige week nog opriep Israël tot de orde te roepen.
Wij vinden het niet gepast om een internationaal conflict te importeren in de stad
„Een hoop mensen hebben het gevoel dat ze alleen machteloos kunnen toekijken”, aldus Coşkun. „Nu kunnen we wél iets doen: deze schepen weren. Er zijn veel druppels op de gloeiende plaat nodig om ervoor te zorgen dat Israël zich achter de oren gaat krabben. Dit is een van de druppels die wij als Rotterdam kunnen toevoegen.”
Een woordvoerder van de burgemeester zegt desgevraagd niet op het debat van donderdag vooruit te willen lopen.
Lees ook
De internationale kritiek op Israël zwelt aan: hoe kijkt de wereld naar de oorlog in Gaza?
Hoe verpulver je een pannenkoek? Dat was de vraag die Dion Engels bezighield, onderzoeker van het Amsterdamse Advanced Research Center for Nanolithography (ARCNL).
De pannenkoek in kwestie is de geplette tindruppel die in ASML’s lithografiemachines vijftigduizend keer per seconde tot ontploffing wordt gebracht. Zo ontstaat een plasma dat EUV-licht uitstraalt: extreem-ultraviolette straling die zeer gedetailleerde chippatronen projecteert op een silicium schijf of wafer.
Hoe meer transistors op elkaar gepropt kunnen worden, hoe krachtiger de chip. Dankzij EUV-machines liggen op de meest geavanceerde processors voor telefoons of AI-datacenters de lijntjes van het chipontwerp nog maar enkele tientallen nanometers uit elkaar – een miljoenste van een millimeter.
ASML werkte samen met het Amerikaanse lab van Cymer twintig jaar aan de EUV-techniek en ontdekte dat je meer EUV-licht genereert door een tindruppel te verpulveren. Het resultaat: de machines die geavanceerde chips van Nvidia, Apple, Samsung of Intel produceren, werken straks een stukje efficiënter.
Veel fundamenteel denkwerk voor de ASML-systemen vindt plaats op het Science Park in Amsterdam-Oost. ARCNL werd tien jaar geleden opgericht als een samenwerkingsverband met de Universiteit van Amsterdam. De aanjager was ASML’s technisch directeur en co-president Martin van den Brink, die vorig jaar met pensioen ging. Het bedrijf betaalt een derde van het ARCNL-budget (zo’n 4 miljoen euro per jaar), zodat tachtig wetenschappers de bouwstenen van lithografie kunnen onderzoeken.
De nadruk ligt op EUV, de techniek die ASML als enige chipmachinebouwer beheerst. Inmiddels leveren die systemen miljarden euro’s omzet op, maar in 2015 worstelde ASML om de dure machines (de nieuwste versie kost bijna 400 miljoen) betrouwbaar en rendabel te laten draaien. De opdracht voor ARCNL was om de techniek te verbeteren én alternatieve methodes te onderzoeken, voor het geval EUV zou falen.
ARCNL-directeur Wim van der Zande bij een miniatuurversie van de EUV-lichtbron. De testopstelling schiet (slechts) 10 keer per seconde. Foto Olivier Middendorp
Wim van der Zande is sinds 2022 directeur van ARCNL en werkte daarvoor op ASML’s onderzoeksafdeling. De academici werken samen met ASML-onderzoekers in Veldhoven en San Diego, en met technische universiteiten in Nederland en daarbuiten. „Het is een heel ecosysteem”, vertelt Van der Zande.
ARCNL doet onderzoek op terreinen die voor ASML relevant zijn, en het bedrijf krijgt als eerste de mogelijkheid om nieuwe ideeën te beoordelen. De samenwerking doet denken aan NatLab. Dit voormalige laboratorium van Philips deed beroemde uitvindingen als de cd-speler en legde ook de basis voor ASML’s lithografietechniek. NatLab verrichtte baanbrekend onderzoek, ook als daarvoor geen directe commerciële toepassing was, en werd uiteindelijk door Philips wegbezuinigd.
De wetenschappers van ARCNL zijn doordrongen van ASML’s belangrijkste uitdaging: economische haalbaarheid. Machines die voor chipfabrikanten geen geld opleveren, worden immers niet verkocht. ASML steekt jaarlijks ruim 4 miljard euro in onderzoek, veel meer dan andere Nederlandse bedrijven, en zou ARCNL dus in eigen beheer kunnen nemen. Maar dat zou afbreuk doen aan de academische ambities.
Het bedrijfsleven kijkt naar de kortere termijn en kan een project opeens stopzetten
Van der Zande: „Als wetenschapper kun je jarenlang aan één onderzoek werken, maar het bedrijfsleven kijkt naar de kortere termijn en kan een project opeens stopzetten.” Toch gaat zo’n driekwart van de ARCNL-onderzoekers na hun promotie aan de slag bij ASML.
De Wet van Moore, genoemd naar Intel-oprichter Gordon Moore, voorspelt dat het aantal transistors op een chip elke twee jaar verdubbelt. Chipfabrikanten proppen inmiddels tientallen miljarden minuscule schakelaars op de oppervlakte van een duimnagel.
Het tempo waarin de chiponderdelen fysiek kleiner worden neemt af omdat ontwerpen de hoogte ingaan: fabrikanten plakken onderdelen van chips op elkaar en verzinnen manieren om transistors slimmer in te delen, bijvoorbeeld met stroomtoevoer vanaf de onderkant.
Dat is de nieuwe realiteit, zegt Jos Benschop, die ASML’s onderzoeksafdeling leidt. „Decennialang kromp elke nieuwe node [chipgeneratie] tot 70 procent in de lengte en de breedte. Dat is nu zo’n 20 procent.”
Lees ook
Lees ook: Duizend miljard transistoren: zo wordt de chip van de toekomst gemaakt
Maar de dichtheid blijft toenemen. De meest geavanceerde EUV-machine kan lijntjes afdrukken die op 8 nanometer van elkaar liggen, een afstand van 32 siliciumatomen. Als chiplijnen zo dicht op elkaar komen, liggen quantumeffecten op de loer – elektronen die onvoorspelbaar gedrag vertonen.
Zo’n vaart loopt het niet, zegt Benschop, die al sinds eind jaren negentig aan EUV werkt: „Op basis van het oorspronkelijke krimptempo zouden we rond 2065 op het niveau komen van een kwart nanometer – de afstand tussen twee siliciumatomen. Waarschijnlijk bereiken we dat punt midden in de volgende eeuw.” De komende decennia kan ASML dus door met schaalverkleinen, zo efficiënt mogelijk. Maar hoe?
1High en Hyper
Net als een kopieerapparaat heeft een lithografiemachine een lichtbron en lenzen of spiegels die een afbeelding projecteren. De kleinst mogelijke dimensie die je kunt afbeelden hangt af van de golflengte van het licht en de openingshoek van de lens (numerieke apertuur of NA).
Omdat een nieuwe lichtbron aanpassingen vergt in de hele chipindustrie, verandert ASML altijd eerst de optieken in de eigen machine. De huidige EUV-systemen hebben een openingshoek van 0,33 NA, de nieuwe High-NA-machine biedt 0,55 NA. Daarvoor moest ASML’s partner Zeiss veel grotere spiegels gebruiken, tot ruim een meter doorsnede. Zeiss moest ook complexe meetapparatuur ontwikkelen die afwijkingen tot op de atoom nauwkeurig registreert.
Lees ook
Lees ook: Bij Zeiss maken ze de toekomst
ASML en Zeiss onderzoeken nu de opvolger, Hyper-NA, met een apertuur van 0,75. De Hyper-NA spiegels hoeven niet per se nóg groter te worden. Jos Benschop schetst op zijn whiteboard: „Je zou de laatste spiegel ook dichter op de wafer kunnen plaatsen, dan heb je hetzelfde effect. Het nadeel is dat er dan meer licht terugkaatst – dat heb je met spiegels.”
Er is ook een voordeel: een ruimere openingshoek kan meer licht verwerken, zoals je een fles met een wijde hals sneller leeggiet dan een met een nauwe hals. Hyper-NA zou lijntjes dus niet alleen scherper, maar ook sneller kunnen afdrukken.
2Meer power, minder pizza
Door de zware laser is de EUV-machine een stroomvreter vergeleken met voorgangers. Rond 2015 wist ASML met veel vermogen (1,5 megawatt) amper 100 watt aan EUV-licht te creëren. De machines die nu draaien, leveren zo’n 500 watt, en er zijn plannen om naar 1.000 watt aan EUV-licht op te schalen.
Daardoor wordt het systeem stapsgewijs efficiënter: per belichte wafer verbruikt EUV in 2033 ongeveer 80 procent minder energie dan in 2018, verwacht ASML.
De lichtbron heeft iets weg van een supersnelle bokswedstrijd. De laser deelt eerst een klein tikje uit aan een vallende tindruppel, om er een platte vorm van te maken, en dan komt de knock-out die de explosie veroorzaakt en EUV-licht creëert. Dat proces speelt zich vijftigduizend keer per seconde af; binnenkort wordt dat opgevoerd naar zestigduizend.
ASML noemt de geplette tindruppel een ‘pannenkoek’ maar het is eerder een pizza, met een dikke rand aan de zijkant. Bij de ontploffing blijft veel tin onbenut. Verpulveren en verspreiden werkt beter. Door een extra lasertik ontstaat een wolk microdruppels, die daarna in een plasma wordt omgezet.
Om de laser, afkomstig van het Duitse bedrijf Trumpf, efficiënter te benutten wil ASML voor die eerste twee tikken een vastestoflaser gebruiken. Die verbruikt minder energie, zodat de laser meer vermogen overhoudt voor de genadeklap. ARCNL had voorgesteld om ook voor de grote klap een vastestoflaser te gebruiken – dat zou nog veel meer energie besparen.
3Strakke spekkoek
Veel van het EUV-licht wordt in het optische systeem geabsorbeerd. Elke spiegel weerkaatst zo’n 70 procent, waardoor er na tien spiegels weinig licht overblijft. Een High-NA-optiek heeft minder spiegels, dus een betere opbrengst. Maar met nog minder spiegels wordt het lastig lensfouten te corrigeren.
Bij de TU Twente sleutelen ze aan de spiegelende coating, die bestaat uit een stapel afwisselende laagjes molybdeen en silicium. Het ene materiaal reflecteert, het andere is doorzichtig. In totaal liggen er zo’n zeventig ‘multilagen’ op elkaar, die elk iets minder dan 3 procent weerkaatsen. „Zo halen we tegenwoordig tot 71 procent reflectie, dicht bij het theoretisch haalbare van 75 procent”, zegt hoogleraar Marcelo Ackermann. Hij leidt de XUV Optics groep die met Zeiss en ASML werkt aan de recepten voor de coating. Dit lab bouwt voort op het EUV-onderzoek dat professor Fred Bijkerk begin jaren negentig startte bij het FOM instituut in Nieuwegein.
Foto Olivier Middendorp
Het sommetje lijkt simpel: de weerkaatsende laag moet zo dik zijn als de helft van de golflengte. De kunst zit ’m in de exacte samenstelling en het netjes op elkaar leggen van laagjes van slechts 10 nanometer dik. Dat gebeurt met een methode die Ackermann ‘magnetronsputteren’ noemt. Vergeleken met de allereerste EUV-spiegels zijn de lagen van de spekkoek nu veel strakker van elkaar gescheiden en dat komt de lichtopbrengst ten goede.
Zijn lab vond, samen met ARCNL, ook een oplossing voor de blaasjes die op EUV-spiegels groeiden. Die ontstonden zodra ASML het EUV-vermogen opvoerde. De truc was om een extra materiaal toe te voegen. Welk materiaal? „Dat is ons geheime recept”, zegt Ackermann.
4Kortere golflengte
In 1984, toen ASML begon, gebruikten lithografiemachines kwiklampen met een golflengte van 365 of 436 nanometer. Daarna volgde laserlicht met 248 en 193 nanometer en rond 2019 maakte de chipwereld de sprong naar 13,5 nanometer. ASML rekent er niet op, maar je zou die golflengte kunnen verkorten, om nog kleinere details te projecteren. De wetenschap sleutelt aan golflengtes van 6,7 nanometer en 4,4 nanometer. Daar zijn elementen te vinden die de juiste combinatie van transparantie en reflectie bieden voor de EUV-spiegels – voor 6,7 nanometer zijn dat lantaan en boor. Nadeel: op kortere golflengtes is de reflectie minder goed.
Om licht van 6,7 nanometer te creëren bouwt ARCNL een onderzoeksopstelling die niet met tin maar met gadolinium werkt. Een kortere golflengte is echter geen wondermiddel. De energie wordt over minder fotonen verdeeld en daardoor groeit de kans op fouten als je lijntjes op nanometerniveau wilt afdrukken. In vaktermen: stochastische ruis. „Alles bij elkaar opgeteld acht ik de kans klein dat we naar een kleinere golflengte gaan”, zegt Benschop.
5Groter, sneller masker
High-NA-machines gebruiken spiegels die het masker – de blauwdruk met de chippatronen – in de lengte en de breedte verschillend vergroten. Daardoor duurt het langer om een schijf met chippatronen ‘vol’ te drukken. „Alsof je een muur schildert met een penseel in plaats van een kwast”, aldus Benschop. ASML compenseert dat door de snelheid te verhogen. De maskerhouder, die boven in de lithografiemachine heen en weer schiet zoals de scanner van je kopieerapparaat, versnelt nu met 32 G. Dat is 32 keer de zwaartekracht – dat mag van Benschop nog wel een paar keer sneller, zolang de machine het niet begeeft.
Lees ook
Lees ook: Met High-NA bouwt ASML het grootste kopieerapparaat ter wereld
De ontwerpen voor AI-chips, die honderden miljarden transistors en tientallen processorkernen bevatten, zijn zo groot dat ze bij High-NA niet meer op één masker passen. De losse delen van het ontwerp worden afzonderlijk geprojecteerd en moeten naadloos aan elkaar geplakt worden. Dat werkt, maar handig is het niet. ASML zou, als chipfabrikanten dat willen, kunnen overstappen naar een grotere maat masker en zo weer kunnen ‘schilderen met een kwast’. Dan moeten partijen als Intel en TSMC het voortouw nemen en toeleveranciers in de maskerindustrie over de streep trekken.
6Meer meten met EUV
EUV-licht kan nanostructuren schrijven, maar ze ook meten. Achter een gesloten gordijn, met een veiligheidsbril op, werkt hoogleraar Stefan Witte bij ARCNL aan deze toepassing van het Nobelprijswinnende onderzoek van de Franse natuurkundige Anne L’Hullier. Zij ontdekte dat ultrakorte lichtpulsen, net als een muziekinstrument, boventonen genereren als ze met andere materialen in aanraking komen. Dat verschijnsel kun je gebruiken om de kwaliteit van chippatronen te controleren, nog tijdens de productie.
Lees ook
Lees ook: Anne L’Hullier: Muziek is m’n geliefde metafoor
ARCNL-onderzoeker Peter Kraus toont de testopstelling die registreert hoe chipmaterialen EUV-licht verstrooien, onder verschillende hoeken. „We kunnen structuren waarnemen van 5 tot 10 nanometer”, zegt Kraus. Zulke kleine details zien de gangbare optische metrologiesystemen niet.
Een andere methode waaraan ARCNL werkt is foto-akoestiek: korte lichtpulsen genereren geluidsgolven, die door chiplagen heen ‘kijken’. Die informatie wordt belangrijker naarmate chipstructuren blijven krimpen, en tegelijk groeien in de derde dimensie.
7De alternatieve bron
Als back-up voor EUV met tindruppels deed ASML rond 2015 onderzoek naar de vrije-elektronenlaser, die elektronen met magneten beïnvloedt en licht van elke golflengte kan creëren. Zo’n free electron laser of FEL is krachtig genoeg voor wel tien of twintig lithografiemachines tegelijk. Je moet zoveel energie wel filteren, anders gaan de EUV-spiegels eraan.
De FEL lijkt efficiënt, de praktijk is weerbarstig. Een deeltjesversneller beslaat een heel gebouw en past dus niet in een chipfabriek. Als er onderhoud gepleegd moet worden aan de lichtbron, liggen meerdere productielijnen plat. Eén zo’n zware lichtbron is ook niet handig als een chipfabrikant maar één of twee extra machines nodig heeft.
ASML bestudeerde de FEL serieus, ook met Amerikaanse en Japanse onderzoekers, maar trok de stekker eruit. Toch meldt de Amerikaanse start-up Xlight dat het in 2028 een FEL-prototype aan een ASML-machine wil koppelen.
Jos Benschop is ervan overtuigd dat ‘laser produced plasma’ het meest kosteneffectief is om EUV-licht te genereren, zeker als de lichtbron nog efficiënter wordt. Maar in China zijn de kosten minder belangrijk. Dat land mag geen EUV-machines importeren en beschouwt de vrije-elektronenlaser als een mogelijke lichtbron voor een geavanceerde lithografiemachine van eigen bodem.
Het Chinese techbedrijf Huawei probeert ook EUV-licht met een plasmabron te creëren, melden Chinese techsites. De vorderingen zijn onduidelijk, maar China heeft één voordeel: het hoeft niet meer te bewijzen dat de techniek werkt – dat deed ASML al.
„Voorop lopen is ingewikkelder”, zei Martin van den Brink in 2015 in een gesprek met NRC. „We begonnen als volger op lithografiegebied. Je zag iemand voor je rijden en dacht: als ik die achterlichten volg, ga ik in ieder geval de goede kant op. Zodra je je concurrenten inhaalt, moet je zelf je richting bepalen.”
Een testopstelling van een laser voor EUV-metrologie. Met ‘boventonen’ van lichtgolven kun je nanostructuren op chips in kaart brengen.Foto Olivier Middendorp
Vorig jaar stapten 117 vrouwen tot dertig jaar uit het leven. Niet eerder was dat aantal zo hoog. Dat meldt het Centraal Bureau voor de Statistiek (CBS) donderdag.
Onder tieners is zelfdoding inmiddels de vaakst voorkomende doodsoorzaak. In 2024 betrof 20 procent van de overlijdens onder tieners suïcide. Dat percentage ligt hoger dan kinderen die overlijden aan kanker of door een verkeersongeluk. Ook twintigers overleden vooral door zelfdoding, in 32 procent van de gevallen. Dat heeft zowel te maken met meer zelfdodingen als minder verkeersdoden.
In totaal maakten 1.849 mensen een einde aan hun leven in 2024. Omgerekend zijn dat gemiddeld vijf zelfdodingen per dag. Onder vijftigers komt suïcide het vaakst voor. In 2024 was een vijfde van de suïcideplegers een vijftiger.
Beweegredenen
Het CBS rekent met een zelfdodingscijfer, waarbij bevolkingsgroei en vergrijzing worden meegewogen. Op die manier kunnen de onderzoekers cijfers uit verschillende jaren naar eigen zeggen goed met elkaar vergelijken. Sinds 2018 veranderde het zelfdodingscijfer niet dusdanig: tussen de 10,3 en 10,9 per 100 duizend inwoners.
Over de beweegredenen van mensen die suïcide plegen, is weinig bekend. Het CBS houdt die informatie niet bij. Vorig maand sprak NRCmet gezondheidswetenschapper Elias Balt, die nabestaanden na een zelfdoding interviewde om te proberen te begrijpen waarom het slachtoffer tot de suïcide kwam.
Lees ook
‘We weten heel weinig over de mensen die sterven door suïcide’
In zijn onderzoek kwamen onder meer jonge vrouwen naar voren die al sinds puberteit met psychische problemen, suïcidale gedachten en suïcidaal gedrag kampen. Volgens Balt ging deze groep, die ondanks intensieve zorg niet opknapte, regelmatig via internet op zoek naar lotgenoten of kwam ze tegen in klinieken.
„Daardoor kwamen ze in een soort parallelle werkelijkheid terecht waarbij hun identiteit zich steeds meer ging vormen rondom suïcidaliteit. Het is heel moeilijk daar weer uit te komen, want je identiteit hangt ervan af.”
Volgens Balt spreken mannen doorgaans minder openlijk over suïcidale gedachten dan vrouwen. Daardoor kwam een zelfdoding voor nabestaanden vaak out of the blue. „Dat zijn vaak de aangrijpendste verhalen, waarbij nabestaanden zich afvragen: wat heb ik gemist? Maar misschien was er niets te zien.”
Praten over zelfdoding kan gratis, anoniem en 24/7 bij de landelijke hulplijn 113 Zelfmoordpreventie. Telefoon: 0800-0113. Of chat op www.113.nl
/s3/static.nrc.nl/images/gn4/stripped/data132621499-ba0849.jpg|https://images.nrc.nl/PZWWDqfZsUkGqqoF95x-jwbz6Xo=/1920x/filters:no_upscale()/s3/static.nrc.nl/images/gn4/stripped/data132621499-ba0849.jpg|https://images.nrc.nl/T3pJ7HPt-3JtHIhAFCSdPhvDVjE=/5760x/filters:no_upscale()/s3/static.nrc.nl/images/gn4/stripped/data132621499-ba0849.jpg)
/s3/static.nrc.nl/images/gn4/stripped/data132621586-e9ed9b.jpg|https://images.nrc.nl/DHsTOWuVk3iONi9uv1OR3ovZZbU=/1920x/filters:no_upscale()/s3/static.nrc.nl/images/gn4/stripped/data132621586-e9ed9b.jpg|https://images.nrc.nl/NnUI_4Kzd1mUggnJmNQhgoo_76s=/5760x/filters:no_upscale()/s3/static.nrc.nl/images/gn4/stripped/data132621586-e9ed9b.jpg)
