ASML steekt 80 miljoen euro in chiponderzoek TU Eindhoven

Chipmachinefabrikant ASML investeert de komende tien jaar in totaal 80 miljoen euro in een samenwerkingsproject met de Technische Universiteit Eindhoven (TU/e). Het geld is bestemd voor de opleiding van honderd promovendi die zich gaan verdiepen in onder meer plasmafysica, mechatronica, optica en kunstmatige intelligentie voor chiptechnologie. De universiteit trekt zelf 30 miljoen uit voor een nieuw cleanroomgebouw, dat in totaal 60 miljoen euro gaat kosten. ASML betaalt de overige 30 miljoen. Die stofvrije ruimte, nodig voor hoogwaardig chiponderzoek, moet in 2028 gereed zijn.

ASML en de TU/e ondertekenden donderdagochtend de nieuwe overeenkomst. Volgens Robert-Jan Smits, voorzitter van het college van bestuur van de TU/e, is deze investering van ASML de grootste die een bedrijf ooit in de Nederlandse academische sector deed. „Het is bovendien een langdurig programma. Dat is uniek; meestal zijn dit soort samenwerkingen ad hoc; per jaar, voor een of twee promovendi.”

In totaal steekt de TU/e, inclusief de bijdrage van ASML, meer dan 100 miljoen euro in chiptechnologie. Dat bedrag is nodig om de cleanroom draaiende te houden en ook enkele andere laboratoria te financieren.

ASML bouwt lithografiemachines, complexe kopieerapparaten die in hoog tempo fijnmazige structuren van chips op een silicium schijf afdrukken.

Het bedrijf werkt ook samen met ARCNL, een onderzoeksinstituut van de Universiteit van Amsterdam en de Vrije Universiteit dat zich boog over nanolithografie. Die samenwerking verliep niet altijd vlekkeloos, omdat ASML meer haast heeft met projecten dan de academische wereld.

Het is niet de bedoeling dat Eindhovense promovendi kant-en-klare techniek voor het Veldhovense hightechbedrijf opleveren. Ze zullen zich bezighouden met fundamenteel onderzoek, zegt Smits. „ASML drukte ons op het hart om niet hun eigen kunstje na te doen, maar ‘out of the box’ te denken.”

De specialisten kunnen na een promotieonderzoek aan de slag bij ASML, maar ook bij andere bedrijven. De techsector in de omgeving van Eindhoven – ook wel bekend als de Brainportregio – heeft behoefte aan meer gespecialiseerde kenniswerkers.

Gebrek aan technisch talent is de belangrijkste bottleneck voor de beoogde verdubbeling van ASML (jaaromzet 27,6 miljard euro, bijna 43.000 medewerkers). Als marktleider en monopolist in de meest geavanceerde lithografiemachines wil ASML meegroeien met de chipindustrie. Dat betekent ook dat ASML’s toeleveranciers in de directe omgeving moeten uitbreiden. Meer dan 80 procent van de ingrediënten van de ASML-machines komt van externe leveranciers.


Lees ook
Zo bouwt ASML het grootste kopieerapparaat ter wereld.

De High-NA-chipmachine, het nieuwste project van ASML.

Roger Dassen, financieel directeur van ASML, noemt TU/e de ‘hofleverancier van talent in de regio’: „Deze samenwerking gaat wetenschappelijke inzichten opleveren die relevant zijn voor de chipindustrie en voor de samenleving.” Dassen voerde de onderhandelingen met de universiteit, die ruim een jaar duurden. Peter Wennink, tot voor kort ASML-topman maar ook lid van de raad van toezicht van de TU/e, nam geen deel aan de gesprekken, om belangenverstrengeling te voorkomen.

Streep door verhuizing

Vanwege acuut ruimtegebrek was ASML aanvankelijk van plan het grootste deel van zijn eigen onderzoeksafdeling te verplaatsen naar het terrein van de TU/e – wat meer dan 300 miljoen euro zou kosten. In dat scenario zou de TU/e gebruik gaan maken van een deel van de faciliteiten.

Door dit plan gaat een streep, omdat ASML nu overweegt om uit te breiden op een tweede productielocatie, vlakbij Eindhoven Airport. Dat schept ruimte waar het bedrijf om zit te springen. Vorige maand tekende ASML daarvoor een intentieverklaring.

Op de nieuwe plek is ruimte voor nog eens 20.000 medewerkers (er werken nu al 20.000 ASML’ers in Nederland). De gemeente Eindhoven wil de resterende grond opkopen.

Als die uitbreiding doorgaat, is het niet meer nodig om de onderzoeksafdeling op het universiteitsterrein te verhuizen. ASML hecht eraan dat de specialisten dicht bij elkaar kunnen samenwerken aan de complexe machines, om problemen sneller op te lossen.

Vooruitlopend op ‘Beethoven’

Het demissionaire kabinet maakte dit voorjaar 2,5 miljard euro vrij om te voorkomen dat de uitdijende hightech-sector, ASML voorop, vastloopt door gebrek aan ruimte en talent. Het ministerie van Economische Zaken en Klimaat is de aanjager van dit plan, Project Beethoven, dat geld van het Nationaal Groeifonds en regionale overheden gebruikt om de infrastructuur, huisvesting en het technisch onderwijs in de regio Brabant te verbeteren. Datzelfde kabinet nam ook een aantal maatregelen die de techsector in het verkeerde keelgat schoot, gericht tegen kenniswerkers uit het buitenland. De meeste maatregelen zijn alweer teruggedraaid, na felle kritiek van onder meer ASML.

Een van de voorwaarden van project Beethoven is dat ASML structureel moet blijven investeren in Nederland. De hernieuwde samenwerking met de TU/e past in die doelstelling, al begonnen de onderhandelingen erover al voordat er sprake was van project Beethoven.