ASML kan geavanceerde chipmachines nog tot 2024 aan China blijven leveren

Techoorlog Officieel gaan op 1 september exportbeperkingen in, maar ASML mag nog drie maanden langer geavanceerde chipmachines naar China verschepen.

De ASML-fabrieken in Veldhoven.
De ASML-fabrieken in Veldhoven. Foto Eugene Winthagen/ANP

De Nederlandse chipmachinefabrikant ASML levert nog tot 1 januari 2024 geavanceerde lithografiesystemen aan Chinese chipfabrikanten. Officieel zou ASML vanaf vrijdag 1 september een exportvergunning nodig hebben voor deze chipmachines. Nederland legt die beperking op om te voorkomen dat China zelf hoogwaardige chips produceert; dat zou een gevaar zijn voor de nationale veiligheid.

Bronnen binnen het bedrijf bevestigen echter dat de strengere regels in de praktijk pas vanaf 1 januari 2024 zullen gelden, omdat de benodigde vergunningen sowieso tot het einde van het jaar verstrekt zijn. Dat betekent dat China nog vier maanden langer op systemen kan rekenen waarmee chipfabrikanten complexe halfgeleiders kunnen maken.

Het is niet ongebruikelijk dat bij de invoering van exportmaatregelen een korte gewenningsperiode wordt gehanteerd, om bedrijven de kans te geven zich aan te passen. Deze maatregelen komen echter niet uit de lucht vallen. Geopolitieke spanningen tussen de VS en China mondden uit in een techoorlog die de halfgeleiderindustrie in het hart raakt. In oktober 2022 legden de VS beperkingen op aan Amerikaanse leveranciers van chipmachines, daarna volgden Japan en Nederland. Na twee jaar onderhandelen met de Verenigde Staten en Japan besloot Nederland dit jaar dat het een veiligheidsrisico is als China zelf ingewikkelde chips kan produceren, die ingezet kunnen worden voor hoogwaardige kunstmatige intelligentie, massasurveillance en geavanceerde wapens.

De systemen van ASML vormen een sterk middel om China op technologische achterstand te houden ten opzichte van het Westen, omdat China niet zelf zulke geavanceerde chipmachines maakt. China is een grote afnemer van chips, maar produceert zelf relatief weinig halfgeleiders en moet de meeste moderne chips importeren, tot ergernis van Beijing.

Fijnmazig

ASML (jaaromzet 21 miljard euro) heeft een marktaandeel van ongeveer 90 procent in lithografiemachines, de complexe drukpersen die met een goedgemikte straal licht in groten getale halfgeleiders produceren. De nieuwe restricties gelden voor lithografiemachines die gebruikmaken van zogeheten diep ultraviolet licht. Die kunnen chippatronen aanbrengen met een fijnmazigheid van 38 nanometer (een nanometer is een miljoenste millimeter). De Chinese fabrikanten zijn met hulpmiddelen van andere fabrikanten echter in staat om nog fijnmaziger chips te produceren. Deze zogenaamde boostertechnologie komt voornamelijk uit de Verenigde Staten, maar China’s eigen technologische kennis op dit gebied groeit snel.

ASML’s grootste klant in China is het bedrijf SMIC. Dat bedrijf is in staat gebleken om chips te produceren met een fijnmazigheid van 7 nanometer. Dat kan alleen met machines die de laagjes van een chip nauwkeurig op elkaar kunnen stapelen. De apparaten waarvoor ASML een vergunning moet aanvragen zijn in staat de lagen van een chip zeer nauwkeurig op elkaar te leggen, met minder dan 1,5 nanometer verschuiving. Die mogen straks niet meer naar China.

De modernste machines van ASML, die gebruikmaken van extreem ultraviolet licht, zijn al langer vergunningsplichtig en blijven dus buiten bereik van Chinese chipfabrikanten.

Eind juni maakte minister Schreinemacher van Buitenlandse Handel bekend dat de exportrestricties per 1 september in werking treden. De exportrestricties gelden behalve voor ASML ook voor ASM International, een Nederlandse chipmachinefabrikant die apparaten bouwt waarmee je flinterdunne lagen op een silicium schijf kunt aanbrengen. Ook zulke systemen zijn nodig om de meest geavanceerde chips te vervaardigen. Hoewel China niet genoemd wordt in de exportrestricties, zijn de voornaamste zorgen van de Nederlandse overheid dat China zich ontwikkelt tot een technologische grootmacht.

Lees ook: ASML-topman over export naar China: ‘Wij hebben al genoeg ingeleverd’

„Een ongecontroleerde uitvoer van de goederen en technologie kan significante implicaties hebben voor openbare veiligheidsbelangen van Nederland en bondgenoten op de lange termijn”, zei Schreinemacher in juni. De inschatting van de Nederlandse overheid is dat het jaarlijks om ongeveer twintig vergunningaanvragen zou gaan. De verwachte financiële impact op ASML is gering; zolang er wereldwijd vraag is naar meer chips zullen de Veldhovense machines elders ter wereld ingezet worden. De VS en Europa willen graag zelf meer chips produceren en lokken chipfabrikanten met miljarden aan subsidies.

Omdat de vraag naar chipmachines veel groter is dan ASML aankan heeft het Veldhovense bedrijf de afgelopen jaren minder systemen aan China geleverd dan er besteld werden. Vanwege een terugval in de chipmarkt pauzeerden andere grote ASML-klanten dit jaar hun bestellingen, waardoor de Chinese chipfabrikanten opschoven in de wachtrij. Daardoor groeide het aandeel van de ASML-omzet uit China naar bijna 25 procent in het afgelopen kwartaal. De verwachting is dat dat aandeel tot en met eind 2023 zo hoog zal blijven.