ASML-topman over export naar China: ‘Wij hebben al genoeg ingeleverd’

ASML-topman Peter Wennink geeft een toespraak tijdens de opening van het academisch jaar van de TU Eindhoven.


Foto Bart van Overbeeke ANP / Hollandse Hoogte

Interview

Peter Wennink De Verenigde Staten dringen aan op exportbeperkingen voor ASML. Topman Peter Wennink: „Amerikaanse bedrijven hebben er profijt van dat wij geen EUV aan China mogen leveren.”

Ook de grootste techbedrijven ter wereld hebben onderonsjes. Vorige week stond ASML-topman Peter Wennink in Arizona naast de Amerikaanse president Joe Biden en schoof aan met bazen van Apple, Nvidia, Qualcomm, AMD en TSMC.

De aanleiding was de openingsceremonie van een nieuwe TSMC-fabriek in Arizona. De VS willen minder afhankelijk zijn van chipproductie in Azië en lokten de marktleider, chipfabrikant TSMC, met miljardensubsidies. TSMC is ASML’s grootste klant, vandaar dat Wennink bij de opening aanwezig was, tussen de Amerikaanse politici en spandoeken met Made in America. „Je zou bijna vergeten dat het om een Taiwanees bedrijf gaat”, aldus Wennink.

„In de zijlijn”, zegt de ASML-topman in een videogesprek, ging het in Arizona ook over de exportbeperkende maatregelen, die de VS begin oktober invoerden om de Chinese chipindustrie aan banden te leggen. Zo willen de VS voorkomen dat China zelf geavanceerde chips produceert of deze technologie koopt van Amerikaanse bedrijven.

De chipindustrie is aan het deglobaliseren en dat raakt Nederland. Al twee jaar lang proberen de VS de Nederlandse regering te overtuigen om ASML’s export naar China te beperken. De ministers voor Buitenlandse Handel (Liesje Schreinemacher) en Economische Zaken (Micky Adriaansens) willen meer tijd en zullen de eenzijdige Amerikaanse exportbeperkingen „niet een-op-een overnemen”, zeiden ze tegen NRC.

ASML, marktleider in lithografietechniek, is in Amerikaanse ogen een ideale partij om de Chinese chipindustrie ‘af te knellen’. Wennink is van mening dat zijn bedrijf al genoeg heeft ingeleverd omdat ASML’s paradepaardje, de EUV-machine (extreem ultraviolet licht) die de krachtigste chips op grote schaal produceert, niet naar China mag.

De Nederlandse overheid gaf in 2019 toe aan Amerikaanse druk om de export van EUV naar China te verbieden. Over EUV is nooit een officiële beslissing genomen, maar de verkoop ging toch niet door. Wennink: „Ook het niet nemen van een beslissing is een beslissing.”

De VS zeggen dat geavanceerde chips in handen van China een gevaar zijn voor de nationale veiligheid, vanwege militaire toepassingen en de opmars van kunstmatige intelligentie. Hoe kijkt u daarnaar?

„Wat nationale veiligheid is, is aan de Amerikanen om te bepalen. Maar het is algemeen bekend dat chiptechnologie voor puur militaire toepassingen meestal tien, vijftien jaar oud is. Die techniek waarmee je zulke chips maakt, mag nog verkocht worden aan China. Voor kunstmatige intelligentie zijn wel de meest geavanceerde chips nodig. Die zijn gemaakt met EUV en worden dus niet in China geproduceerd. Maar die chips worden wel gewoon verkocht, ook aan de Chinezen. Amerikaanse chipfabrikanten hebben geen enkel probleem met China als klant.”

Onze Chinese klanten passen zich aan en gaan chips produceren met een oudere technologie

De VS vinden dat zij met hun eenzijdige exportperkingen „de eerste stap” zetten. Nu moet Nederland, vinden de VS, ASML verbieden gangbare DUV-machines te exporteren naar China.

„Misschien vinden ze dat wij over de brug moeten komen, maar ASML heeft al ingeleverd. Wij mogen geen EUV meer leveren aan China. En EUV is de helft van onze omzet [die is in zijn geheel circa 20 miljard op jaarbasis]. Nu komt 15 procent van onze omzet uit China, bij Amerikaanse chipmachineleveranciers is het 25 of soms meer dan 30 procent.”

ASML verplaatste een deel van het onderhoud en reparaties aan Chinese lithografiemachines al naar China om de chipfabrikanten in de lucht te houden. Lithografie is niet de enige factor die bepaalt hoe je krachtige chips kunt maken. ASML’s EUV-techniek maakt de meest geavanceerde chips, met een lichtstraaltje dat 13,5 nanometer breed is. Een nanometer is een miljoenste van een millimeter. De gangbare DUV-machines, waarvan ASML er al honderden aan Chinese chipfabrieken leverde, gebruiken licht met een golflengte van 193 nanometer.


Lees ook dit interview met minister Schreinemacher: ‘Chinese exportbeperking voor ASML alleen op eigen voorwaarden’

De fijnmazigheid is ook afhankelijk van het proces van ‘depositie’ (het aanbrengen van lichtgevoelige lagen) en het wegetsen van materiaal. Door die stappen te herhalen (multipatterning) kun je toch fijnmaziger chips produceren. Zo wist de Chinese chipfabrikant SMIC de grenzen van de DUV-techniek op te schuiven: met meer depositie- en etsmachines. Dat verklaart waarom Amerikaanse leveranciers van die apparatuur tot een derde van hun omzet uit China halen.

Hebben Amerikaanse bedrijven er volgens u van geprofiteerd dat er geen EUV aan China werd geleverd?

„Ja, dat is zo. Als China nog iets wil met geavanceerde chips, moeten ze heel geavanceerde depositie- en etsmachines kopen om nog te ‘krimpen’. En die komen vooral uit de VS.”

Merkt u dat de markt in China opdroogt door de Amerikaanse exportregels?

„Wat wij van onze Chinese klanten horen, is dat China de road map, de planning, aanpast. Ze gaan meer chips maken die gebruikmaken van oudere productietechnologie, waarvoor de apparatuur nog wel geleverd mag worden. Want die chips zijn ook nog hard nodig.”

Hoe raken de eenzijdige Amerikaanse exportmaatregelen ASML?

Globalization is dead, zei TSMC-oprichter Morris Chang tijdens zijn toespraak in Arizona. Dat ben ik met hem eens – je kunt niet meer alles over de hele wereld verschepen. De exportregels zijn complex en te generiek. Het is de bedoeling van de Amerikanen om de Chinese maakindustrie te treffen. Maar het raakt ook een belangrijke toeleverancier van ons, die enkele onderdelen in China laat maken. In een van die onderdelen zaten goedkope, basic Amerikaanse chips die ze nu niet meer kunnen krijgen. Uiteindelijk zou het onderdeel dat in China gemaakt wordt in een chipmachine moeten belanden. ASML wordt nu dus ook indirect geraakt door die regels.”